设备：表面平整度检测仪Flat Master 200 SAW

厂商：美国Corporation Corning Tropel

用途：能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行精密测量适用于，检测SiC、GaN、蓝宝石和玻璃等透明材料。

技术指标：

l  无接触和无损伤测试

l  度：50nm （2.0μ″）

l  重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）

l  分辨率：5nm （0.2μ″）

l  适用2英寸,4英寸,6英寸,8英寸

l  适应于多种类型表面：研磨面、抛光面、超光滑面

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