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少子寿命测试

设备:外延片少子寿命测试仪WT-2000 Wafer Test System

厂商:匈牙利 SEMILAB

用途:1.厚外延少子寿命测试2.SiC电阻率测试

技术指标:少子寿命测试要求外延厚度>30um;规则样品宽度>10mm                    可以点测或连续面测


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