设备：X射线光电子能谱仪/紫外光电子能谱仪Nexsa

厂商：ThermoFisher

用途：利用X射线或紫外线照射样品激发光电子，通过分析检测和分析光电子动能大小与光电子信号强度的关系，确定样品中所含的元素种类及其化学态。

技术指标：

l  能力分辨率及灵敏度：XPS能量分辨率≤0.5ev，UPS能量分辨率≤120mev；XPS灵敏度≥4000000cps，UPS灵敏度≥2200000cps

l  电子能量分析器：能量扫描范围5ev-3000ev，最小能量步长3mev；通过能为1ev-400ev，连续可调

l  角分辨XPS角度分辨优于1°

l  测试样品厚度≤20mm

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